Разработка оборудования для экспресс-анализа концентраций примесей в полупроводниковых материалах методом статической фурье-спектроскопии
Белаш, Александр Олегович. Разработка оборудования для экспресс-анализа концентраций примесей в полупроводниковых материалах методом статической фурье-спектроскопии : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06 / Белаш Александр Олегович; [Место защиты: С.-Петерб. гос. политехн. ун-т].- Санкт-Петербург, 2012.- 173 с.: ил. РГБ ОД, 61 12-5/2989
