Разработка процесса формирования структур с множественными квантовыми ямами для многоэлементных фотоприемников ИК-диапазона методом МОС-гидридной эпитаксии
Залевский, Игорь Дмитриевич. Разработка процесса формирования структур с множественными квантовыми ямами для многоэлементных фотоприемников ИК-диапазона методом МОС-гидридной эпитаксии : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06.- 0, .- 23 с.: ил.