Разработка процессов осаждения из газовой фазы и устройства для получения защитных износостойких покрытий
Сомов, Олег Васильевич. Разработка процессов осаждения из газовой фазы и устройства для получения защитных износостойких покрытий : диссертация ... кандидата технических наук : 05.16.06 / Сомов Олег Васильевич; [Место защиты: Перм. гос. техн. ун-т].- Пермь, 2010.- 157 с.: ил. РГБ ОД, 61 11-5/1106
