Разработка рециркуляционной технологии получения микрокристаллического карбида кремния химическим осаждением из газовой фазы
Батов, Дмитрий Викторович. Разработка рециркуляционной технологии получения микрокристаллического карбида кремния химическим осаждением из газовой фазы : диссертация ... кандидата технических наук : 05.16.03.- Москва, 2000.- 138 с.: ил. РГБ ОД, 61 00-5/925-1