Введение
1. АППАРАТУРА И МЕТОДИКА ЛОКАЛЬНОГО РЕНТГЕНОСПЕКТРАЛЬНОГО АНАЛИЗА ЛЁГКИХ ЭЛЕМЕНТОВ 10
1.1. Основные представления о методе локального рентгеноспектрального электронно-зондового анализа 10
1.2. Особенности анализа лёгких элементов при возбуждении рентгеновского излучения электронным зондом 14
1.3. Загрязнение поверхности образца в электроннозодо-вых приборах и способы её очистки 20
1.4. Спектрометры ультрамягкого рентгеновского излучения 30
1.5. Выводы 42
2. ОБОСНОВАНИЕ СПОСОБА ОЧИСТКИ И ПРЕДОТВРАЩЕНИЯ ЗАГРЯЗНЕНИЙ ПОВЕРХНОСТИ ОБРАЗЦА И РЕНТГЕНООПТИЧЕСКОЙ СХЕМЫ РЕНТГЕНОСПЕКТРАЛЬНОГО КАНАЛА 44
2.1. Способ очистки поверхности образца с применением ионной пушки 44
2.2. Рентгенооптическая схема спектрометра с дифракционной решёткой 50
2.3. Расчёт спектральной отражательной способности плоского отражательного фильтра в фокусирующем спектрометре 57
2.4. Выводы 66
3. МИКРОАНАЛИЗАТОР ДЛЯ АНАЛИЗА ЛЁГКИХ ЭЛЕМЕНТОВ . 68
3.1. Описание прибора . .68
3.2. Спектрометр с дифракционной решёткой 72
3.2. Устройство ионного травления . 86
4. МЕТОДИЧЕСКИЕ ВОПРОСЫ АНАЖЗА ЛЁГКИХ ЭЛЕМЕНТОВ . 90
4.1. Измерение интенсивности характеристического рентгеновского излучения при одновременном воз действии на образец электронного и ионного пучков 90
4.2. Исследование оптимальных условий измерения характеристического рентгеновского излучения лёгких элементов 101
4.3. Рентгеноспектральный анализ лития III
4.4. Выводы 123
5. ЗАКЛЮЧЕНИЕ . 125
6. ЛИТЕРАТУРА 127
7. ПРИЛОЖЕНИЕ 138
