Введение
1. Анализ состояния и уровня развития электронно лучевых установок для нанесения покрытий 9
1.1. Развитие технологий нанесения покрытий 9
1.2. Анализ технологического оборудования для нанесения покрытий в вакууме 14
1.3. Анализ развития автоматизации управления процессом нанесения покрытий 19
Выводы по главе 23
2. Разработка модели системы управления процессом нанесения покрытия 24
2.1. Выбор и обоснование системы управления процессом нанесения покрытия 24
2.2. Разработка модели системы управления скоростью испарения 29
2.3. Анализ и синтез системы регулирования скорости испарения 33
2.4. Адаптивный регулятор скорости испарения 39
Выводы по главе 47
3. Исследование системы управления скоростью испарения 48
3.1. Исследование процесса пуска электронно-лучевой установки 48
3.2. Исследование влияния возмущений в канале анодного напряжения 57
3.3.Исследование процесса пробоя электронной пушки 67
3.4. Исследование влияния возмущений в канале испарения 72
Выводы по главе 76
4. Реализация системы управления процессом нанесения покрытий в электронно-лучевой установке . 78
4.1. Экспериментальная идентификация процесса нанесения покрытия в электронно-лучевой установке 78
4.2. Реализация системы управления скоростью испарения и конденсации 82
4.3. Экспериментальное исследование системы управления скоростью испарения и конденсации 86
4.4. Рекомендации по совершенствованию системы управления скоростью испарения и конденсации 90
Выводы по главе 95
Заключение 96
Библиографический список 98
Приложения 106
