Разработка способов исследования слоистых структур монолитных интегральных приборов СВЧ на основе спектроскопии и эллипсометрии
Крючков Юрий Иванович. Разработка способов исследования слоистых структур монолитных интегральных приборов СВЧ на основе спектроскопии и эллипсометрии : диссертация ... кандидата технических наук : 01.04.05.- Новосибирск, 2001.- 151 с.: ил. РГБ ОД, 61 02-5/994-X