Введение
Глава 1. Литературный обзор 10
1. Переработка и обезвреживание твердых и жидких отходов производств ТХС и ПКК 10
1.1. Переработка твердых кремнийсодержащих отходов производства трихлорсилана 10
1.2. Переработка и нейтрализация жидких отходов производств ТХС ПКК 11
1.2.1. Свойства полисиланхлоридов и полисилоксанхлоридов 14
1.2.1.1. Физико-химические свойства полисиланхлоридов 14
1.2.1.2. Физико-химические свойства полисилоксанхлоридов . 20
1.3. Пожаро-взрывоопасные характеристики ПСХ и ПСОХ 23
1.4. Области использования ПСХ и ПСОХ 27
1.4.1. Области использования ПСХ 27
1.4.2. Области использования ПСОХ 30
1.5. Получение индивидуальных ПСХ и ПСОХ 31
Глава 2. Экспериментальные исследования процессов переработки твердых кремнийсодержащих отходов производства ТХС 34
2.1. Исследования процессов переработки твердых отходов передела синтеза ТХС, с использованием процесса выщелачивания 34
2.2. Исследования процессов гидрохлорирования отходов кремния после выщелачивания 38
2.3. Исследования возможности использования кремнийсодержащих отходов производства ТХС в процессе получения тетрахлорида циркония 44
Глава 3. Экспериментальные исследования переработки и нейтрализация жидких отходов производств ТХС и ПКК 50
3.1. Идентификация ПСХ и ПСОХ в жидких отходах производств ТХС и ПКК 50
3.2. Разработка методов хроматографического анализа кубовых остатков производств ТХС и ПКК 53
3.2.1. Определение массовых содержаний индивидуальных соединений в системах ПСХХІСОХ и SiCU 58
3.2.2. Определение массовых содержаний индивидуальных соединений в жидких отходах производств ТХС и ПКК 60
3.3. Исследования процессов нейтрализации жидких отходов производств ТХС и ПКК 64
3.4. Исследования процессов переработки жидких отходов производств ТХС и ПКК методом хлорирования 71
3.4.1. Исследования процессов хлорирования индивидуальных хлорсиланов, ПСХ, ПСОХ и их смесей 71
3.4.1.1. Хлорирование трихлорсилана-81НС13 73
3.4.1.2 Хлорирование пентахлордисилоксана-8і2ОС15Н 77
3.4.1.3. Хлорирование смесей SiHCl3- Si2OCl5H - SiCl4 80
3.4.1.4. Хлорирование Si2Cl6, Si2OCl6, Si3Cl8 и Si2OCl6 в смеси с SiCLj. 81
3.4.1.5. Хлорирование жидких отходов производств ТХС и ПКК, содержащих ПСХ и ПСОХ 82
3.4.1.6. Исследование температур начала хлорирования Si2Cl6, Si2OCl6, Si3Cl8, HS1302C18 87
3.4.2. Исследования процессов хлорирования жидких отходов производств ТХС и ПКК в газовой фазе 92
Глава 4. Разработка технологических схем переработки и нейтрализации отходов производств ТХС и ПКК 100
4.1. Технологическая схема переработки твердых отходов... 100
4.2. Технологическая схема нейтрализации жидких отходов производств ТХС и ПКК 101
4.3. Технологические схемы переработки жидких отходов производств ТХС и ПКК 102
4.4. Технологическая схема комплексной переработки твердых и жидких отходов производств ТХС и ПКК 105
Глава 5. Разработка аппаратурно-технологических схем переработки и нейтрализации отходов производств ТХС и ПКК ..
5.1. Аппаратурно-технологическая схема переработки твердых отходов производства ТХС 107
5.2. Аппаратурно-технологическая схема нейтрализации жидких отходов производств ТХС и ПКК 109
5.3. Аппаратурно-технологическая схема переработки жидких отходов производств ТХС и ПКК 111
Выводы 114
Список литературы 117
Приложения 121
