Разработка способов получения порошковых катодов Ti-Al, Ti-Al-Si для ионно-плазменного синтеза нитридных покрытий
Фирсина, Ирина Александровна. Разработка способов получения порошковых катодов Ti-Al, Ti-Al-Si для ионно-плазменного синтеза нитридных покрытий : диссертация ... кандидата технических наук : 05.16.09 / Фирсина Ирина Александровна; [Место защиты: Ин-т физики прочности и материаловедения СО РАН].- Томск, 2012.- 200 с.: ил. РГБ ОД, 61 13-5/381
