Введение
Глава 1. Современное состояние проблем синтеза трихлорсилаиа методами гидрохлорирования кристаллического кремния и гидрирования тетрахлорида кремния 12
1.1 Получение трихлорсилаиа методом гидрохлорирования кристаллического кремния 12
1.1.1 Физико-химические особенности процесса гидрохлорирования кристаллического кремния 12
1.1.1.1 Возможные этапы взаимодействия кремния с хлористым водородом 12
1.1.1.2 Лимитирующая стадия реакции гидрохлорирования кремния 14
1.1.1.3. Влияние основных кинетических параметров на синтез трихлорсилаиа 15
1.1.2 Характеристика действующих промышленных производств получения трихлорсилаиа методом гидрохлорирования кристаллического кремния 17
1.2 Достоинства и недостатки различных способов гидриро вания тетрахлорида кремния 19
1.2.1 Высокотемпературное гидрирование 19
1.2.2 Гидрирование с использованием высокоактивных восстановителей 22
1.2.3 Каталитическое гидрирование 23
1.3 Постановка задачи исследования 26
Глава 2. Физико-химические исследования процессов синтеза трихлорсилана при повышенном давлении 28
2.1 Изучение процесса гидрохлорирования кристаллического кремния при повышенном давлении 28
2.1.1 Определение удельной скорости гидрохлорирования кристаллического кремния и ее зависимости от давления, температуры и концентрации хлористого водорода в статических условиях 28
2.1.2 Определение удельной скорости гидрохлорирования кристаллического кремния и ее зависимости от давления, температуры, концентрации и линейной скорости хлористого водорода в реакторе псевдоожиженного слоя 43
2.2 Определение степени ассимиляции хлористого водорода в процессе гидрохлорирования кристаллического кремния при повышенном давлении 57
2.3 Изучение процесса каталитического гетерогенного гидрирования тетрахлорида кремния при повышенном давлении 61
2.3.1 Определение оптимальных режимных параметров проведения процесса каталитического гетерогенного гидрирования тетрахлорида кремния 61
2.3.2 Определение удельной скорости каталитического гетерогенного гидрирования тетрахлорида кремния 81
Глава 3. Расчет гидродинамических параметров промышленных реакторов синтеза трихлорснлаиа при повышенном давлении. Разработка промышленной технологической схемы получения три хлорснлаиа 85
3.1 Примеры расчетов промышленных реакторов синтеза трихлорснлаиа при повышенном давлении 85
3.1.1 Расчет реактора гидрохлорирования кристаллического кремния в псевдоожиженном слое 85
3.1.2 Расчет реактора каталитического гетерогенного гидрирования тетрахлорида кремния 100
3.2 Разработка промышленной технологической схемы получения трихлорснлаиа 108
Основные результаты работы и выводы 111
Список литературы 115
Приложение
