Разработка технологических основ электронно-лучевого формирования поверхности монокристаллических подложек SiC для создания микро- и наноструктур
Гусев Евгений Юрьевич. Разработка технологических основ электронно-лучевого формирования поверхности монокристаллических подложек SiC для создания микро- и наноструктур : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01 / Гусев Евгений Юрьевич; [Место защиты: Технол. ин-т Юж. федер. ун-та].- Таганрог, 2009.- 171 с.: ил. РГБ ОД, 61 10-5/1087
