Разработка технологических основ получения эпитаксиальных слоев нитрида галлия методом хлоридно-гидридной эпитаксии на подложках сапфира
Донсков, Александр Андреевич. Разработка технологических основ получения эпитаксиальных слоев нитрида галлия методом хлоридно-гидридной эпитаксии на подложках сапфира : диссертация ... кандидата технических наук : 05.17.01 / Донсков Александр Андреевич; [Место защиты: Гос. науч.-исслед. и проект. ин-т редкометалл. пром-сти].- Москва, 2012.- 121 с.: ил. РГБ ОД, 61 13-5/495
