Разработка технологических способов управления морфологией поверхности и электрофизическими характеристиками фоточувствительных полупроводников и структур на их основе

Маляр, Иван Владиславович. Разработка технологических способов управления морфологией поверхности и электрофизическими характеристиками фоточувствительных полупроводников и структур на их основе : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01 / Маляр Иван Владиславович; [Место защиты: Саратовский государственный технический университет].- Саратов, 2012.- 145 с.: ил. РГБ ОД, 61 13-5/516