Разработка технологии ядерного легирования монокристаллического кремния больших размеров
Стук, Алексей Афанасьевич. Разработка технологии ядерного легирования монокристаллического кремния больших размеров : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06 / Моск. гос. акад. тонкой хим. технологии им. М. В. Ломоносова.- Москва, 2000.- 25 с.: ил.