Введение
Глава 1. Методы и способы получения покрытий
1.1 Методы получения покрытий 9
1.1.1 Термическое разложение или пиролиз 14
1.1.2 Водородное восстановление 15
1.2 Методы нагрева 17
1.2.1 Индукционный нагрев 18
1.2.1 Метод пропускания электрического тока 20
1.2.2 Нагрев инфракрасным излучением 22
1.2.3 Радиационный нагрев 22
1.2.4 Нагрев электронным лучом 23
1.3 Общая схема химического осаждения покрытий 26
1.4 Методы создания паровой фазы при осаждении пленок
и покрытий 29
1.5 Исходные вещества для газофазной металлизации 40
1.6 Обобщение литературного обзора и постановка задачи
исследований 41
Глава 2. Материалы, оборудование и методика проведения экспериментов
2.1 Материалы для проведения экспериментальных исследований 45
2.2 Методики проведения экспериментов 45
2.2.1 Исследование механизма формирования пиролитических
хромовых покрытий и влияния электромагнитных полей на
процесс формирования покрытий 45
2.2.2 Металлографический анализ 46
2.2.3 Микротвердость покрытий 46
2.2.4 Рентгеноструктурный анализ 47
2.2.5 Рентгеноспектральный анализ 47
2.2.6 Измерение шероховатости поверхности методом интерференционного контраста 48
2.2.7 Измерение шероховатости поверхности методом туннельной микроскопии 49
2.2.8 Определение коэффициента трения пиролитических хромовых покрытий 50
2.2.9 Определение адгезионной прочности покрытий 52
2.3 Использование полного факторного эксперимента при планировании процесса осаждения ПХП в ТВЧ 53
2.3.1 Построение полиномиальной статистической модели 53
Глава 3. Исследование влияния технологических параметров на процесс осаждения пиролитических хромовых покрытий при атмосферном давлении с использованием нагрева ТВЧ
3.1 Исследование основных технологических параметров на скорость осаждения в условиях высокочастотного нагрева подложки при атмосферном давлении 60
3.1.1 Влияние температуры подложки на скорость осаждения покрытия и общее время процесса 60
3.1.2 Влияние температуры испарителя на процесс осаждения покрытия ...63
3.1.3 Влияние скорости потока газа на процесс формирования покрытия 67
3.1.4 Влияние скорости подачи МОС на процесс осаждения покрытия 71
3.2 Исследование влияния высокочастотного нагрева и атмосферного давления на формирование микроструктуры, фазовый и химический состав покрытий 72
3.2.1 Влияние температуры подложки 73
3.2.2 Исследование фазового состава покрытий 81
3.2.3 Химический состав покрытий, определенный на приборе CmKTPOnOPT7C02G№9348/A 81
3.2.4 Химический состав покрытий, определенный на приборе СПЕКТРОСКАН (ТУ 4276-002-2304550-96) 84
3.2.5 Исследование распределения равномерности слоя покрытия 87
Глава 4. Исследование физико-механических свойств покрытий
4.1 Исследование шероховатости поверхности методом интерференционного контраста 91
4.2 Измерение шероховатости поверхности методом туннельной микроскопии 93
4.3 Микротвердость покрытий 95
4.4 Коэффициент трения хромовых покрытий 98
4.5 Адгезионная прочность пиролитических хромовых покрытий 102
4.6 Определение оптимальных условий процесса осаждения ПХП с использованием полного факторного эксперимента 110
Глава 5. Разработка экспериментальной установки и определение технологических режимов осаждения пиролитических хромовых покрытий
5.1 Установка для осаждения пиролитических хромовых покрытий 120
5.2 Циклограммы осаждения ПХП 128
5.3 Рекомендуемые технологические режимы осаждения ПХП 130
Основные результаты и выводы по работе 132
Список использованных источников 134
Приложения 143
