Разработка технологии получения и очистки гидридных газов непосредственно в технологических процессах полупроводниковой микроэлектроники

Лобачев Юрий Анатольевич. Разработка технологии получения и очистки гидридных газов непосредственно в технологических процессах полупроводниковой микроэлектроники : диссертация ... кандидата технических наук : 05.17.02.- Москва, 2002.- 132 с.: ил. РГБ ОД, 61 02-5/1953-8
Автор
Лобачев Юрий Анатольевич
Год
2002

  • 99 000 UZS

Рекомендуем вам товары

Фазовый состав и особенности распределения церия, гадолиния, урана и плутония в муратаит-содержащих керамиках для иммобилизации лантаноидов и актиноидов
99 000 UZS
Автор
Кирьянова Ольга Ивановна
Количество страниц
Год
2002
Получение магнитных сплавов на основе РЗМ и магнитов из них
99 000 UZS
Автор
Буйновский, Павел Александрович
Количество страниц
Год
2001
Получение оксидов урана и смешанных оксидов урана и церия методом восстановительной плазмохимической денитрации, их состав и свойства
99 000 UZS
Автор
Гильбо Константин Евгеньевич
Количество страниц
Год
2001
Разработка технологии синтеза и исследование материалов для создания высокотемпературных топливных элементов с пленочным электролитом на основе диоксида циркония
99 000 UZS
Автор
Скороваров Александр Сергеевич
Количество страниц
Год
2002
Разработка контактного устройства мембранного типа для химического изотопного обмена в системе вода-водород
99 000 UZS
Автор
Иванчук Остап Михайлович
Количество страниц
Год
2001
Новостной блок
Модули для Opencart 2, Опенкарт 3