Разработка технологии создания высокоэффективных тонкопленочных термоэлектрических материалов методом импульсного лазерного осаждения
Шупенев Александр Евгеньевич. Разработка технологии создания высокоэффективных тонкопленочных термоэлектрических материалов методом импульсного лазерного осаждения: диссертация ... кандидата Технических наук: 05.02.07 / Шупенев Александр Евгеньевич;[Место защиты: ФГБОУ ВО «Московский государственный технический университет имени Н.Э. Баумана (национальный исследовательский университет)»], 2018.- 133 с.