Введение
Глава 1 Аналитический обзор литературы 11
1.1 Твёрдые износостойкие покрытия - основные направления развития 11
1.2 Пути улучшения эксплуатационных свойств покрытий TiN, за счёт легирования третьим и четвёртым компонентом 15
1.3 Критерии оценки физико-механических и трибологических свойств покрытий .28
1.4 Механизмы локализованной деформации наноструктурных покрытий 32
1.5 Современные методы получения твёрдых износостойких покрытий на основе тугоплавких соединений переходных металлов. 36
1.6 Перспективы использования метода СВС для изготовления мишеней 46
Глава 2 Методика эксперимента ..51
2.1 Силовое СВС-компактирование 51
2.2 Магнетронное распыление композиционных СВС-мишеней 56
2.3 Методы исследования структуры и состава покрытий . 58
2.4 Методы исследования физико-механических и трибологических свойств покрытий 62
2.5 Методика исследования локализованной деформации многокомпонентных наноструктурных покрытий 71
Глава 3 Закономерности формирования твёрдых наноструктурных покрытий в системе Ti-Si-N, осаждённых с использованием СВС-мишеней TisSi3+TiN и Ti5Si3+Ti 73
3.1 Химический состав покрытий 73
3.2 Параметрическое исследование. Закономерности формирования двухфазных состояний 76
3.3 Морфология и топография поверхности покрытий 85
3.4 Исследование взаимосвязи между химическим и фазовым составом покрытий и их физико-механическими свойствами 90
3.5 Сравнительный анализ трибологических свойств покрытий в системе Ti-Si-N и покрытий TiN 93
Глава 4 Основные закономерности влияния структуры на физико-механические и трибологические свойства покрытий Ti-B-N, Cr-B-N, Ti-Cr-B-N 96
4.1 Влияние технологических параметров процесса магнетронного распыления на фазовый состав 96
4.2 Влияние легирования хромом на рельеф поверхности и размер зерна кристаллической фазы покрытий Ti-B-N. 106
4.3 Физико-механические свойства и адгезионная прочность покрытий. Сверхтвёрдые материалы в системе Ti-Cr-B-N. 108
4.4 Сравнительный анализ трибологических свойств покрытий в системах Ti-B-N, Cr-B-N, Ti-Cr-B-N. Влияние химического состава на поведение покрытий в условиях трения 114
Глава 5 Локализованная деформация многокомпонентных наноструктурных покрытий 125
5.1 Особенности структуры и морфология многокомпонентных наноструктурных покрытий. 126
5.2 Механизмы локализованной деформации 133
5.3 Особенности физико-механических свойств наноструктурных покрытий 140
Выводы 144
Список литературы
