Введение
ГЛАВА 1 Особенности формирования наноструктур системы fe/si. метод эллипсометрии 9
1.1 Получение и свойства силицидов железа 11
1.2 Методы исследования 13
1.3 Основное уравнение эллипсометрии. Прямая и обратная задачи 16
1.4 Методы решения обратной задачи для мониторинга в масштабе реального времени 23
Выводы 35
Глава 2 Разработка алгоритма для in situ контроля изменения оптико-геометрических параметров наноструктур 36
2.1 Описание разработанного алгоритма для in situ контроля изменения параметров наноструктур 38
2.2 Апробация экспресс-методики на численных экспериментах 41
2.3 Программное обеспечение «SingleW» для анализа данных одноволновой эллипсометрии 50
Выводы 61
ГЛАВА 3 Анализ данных лазерной эллипсометрии для наноструктур Fe/SiO2/Si(100) 62
3.1 Описание экспериментальной установки 62
3.2 Технология получения Fe/SiO2/Si(100) наноструктур. Результаты вычислений их оптико-геометрических параметров dFe, nFe, kFe 63
Выводы 70
ГЛАВА 4 Анализ данных лазерной эллипсометрии для многослойной структуры (Fe/Si)3/SiO2/Si(100) 71
4.1 Получение многослойной структуры (Fe/Si)3/SiO2/Si(100). Характеризация её структурных свойств 71
4.2 Профили зависимостей показателей преломления и поглощения от толщины для слоёв железа 79
4.3 Профили зависимостей показателей преломления и поглощения от толщины для слоёв кремния 85
Выводы 87
ГЛАВА 5 Синтез тонких плёнок силицидов железа Fe3Si И -FeSi2. применение метода 89
5.1 Синтез и исследование тонких плёнок силицида железа Fe3Si 89
5.1.1 Технология получения тонких плёнок Fe3Si/SiO2/Si(111) и Fe3Si/Si(111) 89
5.1.2 Анализ структурных свойств плёнок Fe3Si/SiO2/Si(111) и Fe3Si/Si(111) 90
5.1.3 Анализ данных одноволновой и спектральной эллипсометрии поликристаллических Fe3Si/SiO2/Si(111) и эпитаксиальной Fe3Si/Si(111) плёнок 97
5.2 Синтез и исследование полупроводникового силицида -FeSi2 109
5.2.1 Технология получения полупроводникового силицида -FeSi2. Анализ его структурных свойств 109
5.2.2 Анализ данных одноволновой и спектральной эллипсометрии поликристаллических -FeSi2/SiO2/Si(100) плёнок 113
Выводы 124
Заключение 125
Список литературы
