Введение
ГЛАВА 1 . Современное состояние зондовых методов исследования и контроля поверхностей материалов и изделий 10
1.1 Актуальность методов зондовой микроскопии 10
1.2 Принципы работы сканирующих зондовых микроскопов (СЗМ) .13
1.2.1 Сканирующая туннельная микроскопия (СТМ) 14
1.2.2 Сканирующая атомно-силовая микроскопия (АСМ) 20
1.2.3 Сканирующая близкопольная оптическая микроскопия (БОМ) 34
1.2.4 Микроскопия боковых сил (МБС) 35
1.3 Классификация методов СЗМ 36
1.3.1 Режим контактного сканирования 36
1.3.2 Режим полуконтактного сканирования 38
1.3.3 Режим бесконтактного сканирования 41
1.3.4 Режим туннельного сканирования 45
1.4 Основные достижения зондовой микроскопии в исследовании природной среды, контроле материалов и изделий 48
Выводы к главе 1 59
ГЛАВА 2 . Методы исследования материалов и изделий в химически активных средах при помощи СЗМ линии «SOLVER» 61
2.1 Исследование материалов и изделий в электрохимических средах при помощи СЗМ 62
2.1.1 Конструкция электрохимической ячейки 63
2.1.2 Особенности СТМ в электролите 70
2.2 Управление электрохимическими процессами 72
Выводы к главе 2
ГЛАВА 3. Методы тестирования поверхностей изделий микроэлектроники на приборах линии «SOLVER» 76
3.1 Разработка СЗМ для исследования топологии поверхности лазерных компакт-дисков 77
3.1.1 Режимы работы и технические характеристики СЗМ Solver-P7LS 78
3.1.2 Экспериментальные результаты по исследованию поверхностей материалов и изделий в производстве лазерных дисков 82
3.1.3 Применение Solver-P7LS в микроэлектронике 86
3.2 Метод группового статистического анализа объектов на поверхности 90
3.2.1 Экспериментальные результаты по исследованию матриц CD-дисков 94
Выводы к главе 3 102
ГЛАВА 4. Разработка емкостных методов для исследования приповерхностных свойств изделий микроэлектроники на СЗМ линии «SOLVER» 104
4.1 Бесконтактная емкостная методика 105
4.2 Разработка метода измерения емкости на основе контактного взаимодействия в системе зонд-поверхность 115
4.3 Промышленные применения емкостных методик 123
Выводы к главе 4 131
ГЛАВА 5. Методы и инструменты для исследования свойств поверхностей магнитных материалов на приборах линии «SOLVER» 133
5.1 Развитие метода магнитно-силовой микроскопии для исследования поверхностей носителей информации 133
5.2 Развитие микромеханических инструментов для прецизионных магнитных исследований
с помощью СЗМ 139
Выводы к главе 5 144
Основные результаты и выводы 146
Литература 149
Приложение 167
