Введение
Раздел I Лазерная резка кварцевого стекла 8
1. Ведение 8
1.1. Лазерная и газолазерная резка стекла 12
1.2. Лазерное скрайбирование 17
1.3. Лазерное сквозное термораскалывание 27
1.4 Лазерное управляемое термораскалывание (ЛУТ) 33
2. Математическая модель ЛУТ кварцевого стекла 36
2.1. Задача термоупругости ЛУТ пластины 45
2.2 Термоупругие напряжения в процессе лазерного управляемого термораскалывания (3D задача) 55
2.3 . Модель лазерной обработки кромки пластины 60
3. Разработка технологии ЛУТ кварцевого стекла 74
3.1. Процесс лазерного управляемого термораскалывания кварцевого стекла с подачей хладагента 75
3.2. Исследование режима лазерного управляемого термораскалывания кварцевого стекла без подачи хладагента 79
3.3. Универсальная установка для лазерной резки методом ЛУТ 81
3.4. Измерение термонапряжений в процессе ЛУТ поляризационно-оптическим методом 86
Раздел II Лазерная сварка кварцевого стекла.
1. Ведение 95
1.1. Сварка в режиме поверхностного нагрева 99
1.2. Лазерная сварка кварцевого стекла в режиме глубокого проплавлення 105
1.3. Особенности лазерной сварки стекла 106
1.4. Гидродинамические процессы при глубоком проплавлений 114
2. Математическая модель процесса лазерной сварки в режиме глубокого проплавлення 116
3. Исследование и определение оптимальных технологических режимов лазерной сварки кварцевого стекла с глубоким проплавлением 123
3.1. Зависимость глубины проникновения канала сварки от скорости перемещения 125
3.2. Зависимость глубины проникновения канала сварки от положения фокуса лазерного луча 126
4. Разработка основных принципов конструирования установок лазерной сварки 136
Заключение 147
Список литературы
