Введение
ГЛАВА I. Взаимосвязь структурных параметров с физическими характеристиками гетеро структур 10
1.1. Деформации, напряжения и основные физические характеристики полупроводниковых гетероструктур и сверхрешеток 10
1.2 Кубическая и гексагональная фазы в гетероэпитаксиальной структуре gap/zn(mg)s 20
1.3. Влияние напряжений и величины нпр на критическую толщину псевдоморфного эпитаксиального слоя 27
1.4. Вычисление критических толщин псевдоморфных слоев 32
1.5 Исследования и постановка задачи 40
ГЛАВА II. Континуальная теория упругости гетероструктур 41
2.1. Тензор нпр и полная система уравнений континуальной теории упругости гетероструктур. 41
2.2. Компоненты тензора упругой жесткости для гетероструктур кубической и гексагональной сингоний 48
2.3. Система уравнений для решения задачи упруго- и пластически
Деформированного состояния гетероструктур 53
2.4.многослойная гетероструктура произвольного типа 55
2.5. Упруго- и пластически деформированная двухслойная гетероструктура 60
ГЛАВА III. Определение деформаций, величины несоответствия и концентраций твердых растворов в гетероструктурах 66
3.1. Рентгенодифрактометрическое измерение деформаций и кривизны гетероструктур. 66
3.2. Рентгенодифрактометрическое измерение концентраций в гетероструктурах четырехкомпонентных твердых растворов 78
ГЛАВА IV. Рентгенодифрактометрическое измерение градиента деформации 88
4.1. Определение градиента деформации в приповерхностных слоях гомо- и гетероструктур 90
4.2. Динамическая рентгеновская дифракция в эпитаксиальной сверхрешетке и гетероструктуре с переходным слоем с различной электронной плотностью в слоях 106
Заключение и основные результаты 121
Литература
