Введение
ГЛАВА 1. Литературный обзор - 10 -
Раздел 1. Полупроводниковая наноэлектроника на гетероструктурах с нанометровыми размерами слоев -10 -
Раздел 2. Методы получения нанометровых гетероструктур - 18 -
Раздел 3. Методы структурной диагностики низкоразмерных гетерокомпозиций -22-
ГЛАВА 2. Методы экспериментальных исследований - 30 -
Раздел 1. Высокоразрешающая рентгеновская диагностика в различных схемах дифракции - 30 -
Раздел 2. Рентгеновская рефлектометрия - 48 -
ГЛАВА 3. Результаты экспериментальных исследований и их обсуждение .-
Раздел 1. Наноразмерные гетероструктуры для создания мощных СВЧ-транзисторов - 59 -
Раздел 2. Сверхрешетки Si-SiGe и структуры с квантовыми точками ZnSe-CdSe в качестве активной области полупроводниковых лазеров - 74 -
Раздел 3. Разбавленные магнитные полупроводники GaAs/5-Mn/GaAs/(In,Ga)As/GaAs как основа для создания спинтронных устройств - 88-
Раздел 4. Развитие метода двухкристальной рентгеновской дифрактометрии и анализа экспериментальных данных -114 -
Заключение -125-
Библиографический список
