Введение
ГЛАВА 1. Методы высокоразрешающей рентгеновской дифрактометрии, рефлектометрии, фазового контраста и объекты исследования 19
1.1. Введение 19
1.2. Высокоразрешающая рентгеновская дифрактометрия 20
1.3. Метод интегральных характеристик 26
1.4. Особенности формирования кривых трехкристальной рентгеновской дифрактометрии 31
1.5. Влияние мозаичности образцов и дисперсии излучения на кривые трехкристальной рентгеновской дифрактометрии 40
1.6. Диффузия в кристаллах 46
1.7. Рентгеновская диагностика ионной имплантации и отжига... 58
1.8. Структурные изменения, происходящие в полупроводниковых монокристаллах при лазерным облучении 68
1.9. Интегральные и дифференциальные кривые рентгеновской рефлектометрии 75
1.10. Фазоконтрастные изображения 84
1.11. Исследования структуры и состава нефтяных дисперсных систем 91
1.12. Заключение 94
ГЛАВА 2. Рентгенодифрактометрическое исследование изменения кристаллической решетки приповерхностных слоев кремния в диффузионных процессах 96
2.1. Введение 96
Изучение зависимости изменения структуры кремния от времени термической диффузии бора 100
Рентгенодифрактометрические исследования импульсной лазерной диффузии бора 109
Секундная лазерная диффузия алюминия в кремний 120
Изменение решетки кремния в процессе непрерывной лазерной диффузии индия 134
Заключеие 142
Рентгенодифрактометрическое исследова ние изменения кристаллической решетки приповерхностных слоев кремния в процессе ионного и миллисекундного лазерного облучения 144
Введение 144
Рентгенодифракционные исследования зависимости профилей деформации и аморфизации приповерхностных слоев монокристаллов кремния от дозы имплантации ионов бора 145
Влияние изохронного отжига на структуру кристаллов кремния, облученных ионами бора 163
Исследование влияния лазерного отжига на структуру приповерхностных слоев кремния имплантированных ионамибора 175
Дефекты генерируемые лазерными импульсами миллисекундной длительности 191
Зависимость кристаллической структуры от количества лазерных импульсов 195
Заключение 200
ГЛАВА 4. Рентгеновская рефлектометрия поверхности кремния и пленок на ней 203
4.1. Введение 203
4.2. Рефлектометрия пленок бора, полученных лазерным напылением на кремниевые подложки 207
4.3. Рентгеновская рефлектометрия напыленных лазером фулле-реносодержащих углеродных пленок 217
4.4. Исследование окисной пленки на поверхности кремния 223
4.5. Трансформация поверхности кремния при лазерном облучении 229
4.6. Заключение 234
ГЛАВА 5. Фазоконтрастные исследования некристаллических объектов 235
5.1. Введение 235
5.2. Рентгеновский фазовый контраст воздушного шнура, нагретого лазерным пучком 240
5.3. Фазоконтрастные исследования полиэтиленового капилляра с парафином 251
5.4. Рентгеновские фазоконтрастные исследования растворения кристаллов Nacl 256
5.5. Заключение 263
ГЛАВА 6. Рентгеновские исследования нефтяных дисперсных систем 266
6.1. Введение 266
6.2. Рентгеновская малоугловая диагностика изменения размера сложных структурных единиц нефтяной дисперсной системы в процессе воздействия миллисекундного лазерного излучения 267
6.3 Рентгеновская рефлектометрия нефтяных дисперсных систем 271
6.4. Фазоконтрастные исследования нефтяных дисперсных систем 275
6.5. Заключение 279
Заключение и основные результаты 280
Литература 283
