Введение
1. Литературный обзор 11
1.1. Термодинамика формирования бинарных металлических систем методом вакуумного осаждения 13
1.1.1. Энергетический подход для определения механизмов роста 13
1.1.2. Влияние диффузии в двухкомпонентных системах на рост пленок 16
1.2. Кристаллогеометрический подход прогнозирования ориентации при сопряжении пленок 20
1.3. Изменение параметра кристаллической решетки компонентов многослойной и многокомпонентной пленки 25
1.4. Численные методы анализа для определения ориентационных соотношений в зависимости от энергии межфазных границ 27
1.5. Полиморфные превращения при росте многослойных и многокомпонентных пленок 30
2. Методика эксперимента 38
2.1. Приготовление многослойных пленок Cu-V 38
2.2, Приготовление двухкомпонентных пленок с ограниченной взаимной растворимостью 38
2.3 Подготовка образцов для электронно-микроскопических исследований 39
2.4 Методика анализа структуры, ориентации, субструктуры, количественного и фазового состава пленочных систем 40
3. Субструктурные и ориентационные изменения при росте многослойных систем с большим несоответствием параметров решеток на примере Cu-V и Mo-Ni систем 43
3.1. Зависимость структуры пленок от ориентации подложки 43
3.1.1. Пленки Mo/Ni и Cu/V Ha(lll)NaCl и фторфлого-пите 43
3.1.2. Зависимость ориентации и субструктуры двухслойных пленок Cu/V от толщины пленки ванадия на поверхности (001) NaCl 47
3.1.3. Ориентационные соотношения при смене последовательности конденсации компонентов 54
3.2. Ориентационные и субструктурные изменения при увеличении количества слоев 55
3.2.1. Трехслойные пленки Ni / Mo / Ni и Си / V / Си 55
3.2.2. Четырехслойные пленки Си / V / Си / V 58
Выводы к главе 62
4. Диффузионное расслоение при росте пленок двухкомпонентных металлических систем с ограниченной взаимной растворимостью компонентов 63
4.1 Системы с одинаковым типом кристаллических решеток 63
4.1.1 Зависимость ориентации и субструктуры пленок от температуры подложки 63
4.1.2 Изменение параметров кристаллических решеток компонентов наноструктуры 67
4.2 Системы с ГЦК - ОЦК и ГЦК - ГПУ типами кристаллических решеток 73
4.3 Модель диффузионного расслоения двухкомпонентных пленок 79
Выводы к главе 86
Основные результаты и выводы 87
Библиография 89
