Введение
1. Кристаллические структуры, полиморфизм и диаграммы фазовых состояний оксидов кобальта, никеля, кадмия, индия, празеодима и диспрозия 8
1.1. Оксиды кобальта и никеля 8
1.2. Оксид кадмия. 13
1.3. Оксид индия 15
1.4. Оксиды РЗЭ 18
2. Физико-химические свойства керамики, порошков и тонких пленок на основе СоОх, NiOx, CdO, ln203, РЮХ и Dy203 27
2.1. Оксиды кобальта и никеля. 27
2.2. Оксид кадмия 33
2.3. Оксид индия 36
2.4. Оксиды РЗЭ 42
2.5. Классификация, принципы действия и применение газочувствительных датчиков. Выбор материала для газовых сенсоров 47
2.6. Электрофизические и сенсорные свойства тонких пленок на основе оксидов металлов 54
3. Методы синтеза и исследования 63
3.1. Методы синтеза порошков и тонких оксидных пленок 63
3.1.1. Методы синтеза поликристаллических оксидных пленок СоО*, NiOXl CdO, ln203, РЮХ и Dy203 63
3.1.2. Метод синтеза порошков 68
3.2. Методы исследования синтезированных образцов 69
3.2.1. Электронно-микроскопические методы исследования 69
3.2.2. Рентгенофазовьтй анализ 72
3.2.3. Дифференциально-термический анализ 72
3.2.4. Метод исследования электрических свойств 74
3.2.5. Исследование сенсорных свойств и расчет коэффициентов чувствительности 76
4. Исследование физико-химических свойств пленок на основе оксидов металлов с переменной валентностью (СоОх и NiOx) 78
4.1. Экспериментальные данные 78
4.1.1. Первичные частицы, начальные стадии формирования и морфология пленок СоОхи№Ох 78
4.1.2. Кристаллические структуры и химический состав 87
4.1.3. Сопротивление пленок СоОх и NiOx в воздушной атмосфере 89
4.1.4. Сенсорные свойства и чувствительность пленок к средам аргона, парам этилового и метилового спиртов 94
4.1.5. Физико-химические свойства пленок на основе двухкомпонентных оксидных систем СоОх - SnC»2 и NiOx - Sn02 98
4.1.6. Электропроводность, сенсорные свойства и временные зависимости формирования адсорбционного отклика пленок CoOx-Sn02 и NiOx-Sn02 к среде ар^ гона 100
4.2. Анализ результатов эксперимента 105
5. Исследование физико-химических свойств пленок CdO и ІП2О3 107
5.1. Экспериментальные данные 107
5.1.1. Первичные частицы, начальные стадии формирования и морфология пленок CdO и ІП2О3 синтезированных различными методами 107
5.1.2. Кристаллические структуры и химический состав 112
5.1.3. Электропроводность пленок CdO и Ш2О3 в воздушной атмосфере 116
5.1.4. Сенсорные свойства и чувствительность пленок к средам с пониженным содержанием кислорода, Оз, С2Н5ОН и СНзОН. 118
5.1.5. Физико-химические свойства пленок на основе двухкомпонентных оксидных систем CdO-In203, ІпгОз-гЮг и Ь^Оз-БпОг 123
5.2. Анализ результатов эксперимента. 129
6. Исследование физико-химических свойств пленок на основе оксидов РЗМ (РгОх иБу203) 133
6.1. Экспериментальные данные 133
6.1.1. Морфологические особенности, кристаллические структуры и химический состав порошков и пленок РгОх и БугОз 133
6.1.2. Электропроводность пленок РгОх и Dy2Cb в атмосфере воздуха, сенсорные свойства и чувствительность пленок к средам озона, парам СНзОН и С2Н5ОН. 142
6.1.3. Физико-химические свойства пленок на основе двухкомпонентных оксидных систем Dy203-ZrC>2 и Dy203-PrOx 146
6.2. Анализ результатов эксперимента 150
Обсуждение результатов и основные выводы 153
