Синтез и очистка GaEt3 и [SiH2]5-прекурсоров для создания полупроводниковых структур
Шатунов, Валерий Владимирович. Синтез и очистка GaEt3 и [SiH2]5-прекурсоров для создания полупроводниковых структур : диссертация ... кандидата химических наук : 02.00.08 / Шатунов Валерий Владимирович; [Место защиты: Гос. науч.-исслед. ин-т химии и технологии элементоорган. соединений].- Москва, 2011.- 166 с.: ил. РГБ ОД, 61 11-2/317