Введение
ГЛАВА 1 Обзор литературы 9
1.1 Основные направления поиска материалов для спинтроники 9
1.2 Кристаллическая структура феррит–шпинелей 12
1.3 Магнетизм в ферритах со структурой шпинели 16
1.4 Фазовые состояния в системе Mg–Ga–Fe–O 23
1.5 Методы синтеза керамических шпинелей 26
1.6 Методы получения пленок сложных оксидов 33
1.7 Механизмы роста пленок 36
ГЛАВА II Экспериментальнам часть 50
2.1 Синтез керамических образцов Mg(Fe0,8Ga0,2)2O4 50
2.2 Синтез аморфных пленок Mg(Fe0,8Ga0,2)2O4- 51
2.3 Методы исследования 54
ГЛАВА III Результаты и их обсуждение 60
3.1 Оптимизация процесса получения мишеней для синтеза пленок 60
3.2 Выбор барьерного слоя при осаждении пленок Mg(Fe0,8Ga0,2)2O4– на
кремнии 63
3.3 Физико-химические характеристики свежеосажденных пленок Mg(Fe0,8Ga0,2)2O4- 73
3.4 Особенности процессов кристаллизации пленок Mg(Fe0,8Ga0,2)2O4– толщиной 200-2000 нм на кремнии 79
3.4.1 Выбор режимов постростового отжига пленок Mg(Fe0,8Ga0,2)2O4– 79
3.4.2 Структура и магнитные свойства пленок Mg(Fe0,8Ga0,2)2O4– толщиной 2 мкм 85
3.4.3 Структура и магнитные свойства пленок Mg(Fe0,8Ga0,2)2O4– толщиной 0,8 мкм 88
3.4.4 Структура и магнитные свойства пленок Mg(Fe0,8Ga0,2)2O4– толщиной 0,4 мкм 92
3.5 Модель процесса кристаллизации пленки Mg(Fe0,8Ga0,2)2O4–
на кремнии 95
3.6 Электрические характеристики пленок Mg(Fe0,8Ga0,2)2O4– на кремнии 104
3.7 Ферромагнитный резонанс в пленках Mg(Fe0,8Ga0,2)2O4– на кремнии 109
Выводы 112
Список использованных источников 113
