Введение
Литературный обзор 10
ГЛАВА 1 Карбид кремния и его химическая активность 10
1.1 Особенности строения, получение и применение карбида кремния 10
1.2 Физико-химические свойства SiC 15
ГЛАВА 2 Регулирование и влияние состава и строения поверхности карбида кремния на его термоокислительные свойства
2.1 Строение и свойства оксидной пленки на поверхности SiC 28
2.2 Кинетика и механизм термоокисления карбида кремния 33
2.3. Модифицирование поверхности карбида кремния 39
Заключение 48
Экспериментальная часть
ГЛАВА 3 Методики синтеза и исследования SiC с модифицированной поверхностью 49
3.1 Характеристики и обоснование выбора исходных веществ и модификаторов 49
3.2 Установки для синтеза элементоксидных структур на поверхности карбида кремния 59
3.3 Физико-химические методы исследования, использованные в работе 63
ГЛАВА 4 Синтез хром-, титан-, ванадий- оксидных структур на поверхности карбида кремния и исследование их состава 73
4.1 Исследование с применением РФЭС химического состава поверхности продуктов взаимодействия карбида кремния с парами ТІСЦ, VOCl3 и Н20, СЮ2С12 и С2Н5ОН 73
4.2 Влияние циклической обработки карбида кремния парами ТІСЦ и Н20 на состав приповерхностного слоя
4.3 Синтез ванадийоксидных структур на поверхности SiC последовательной и попеременной обработкой матрицы парами VOCl3 и н2о
4.4 Состав и структура продуктов последовательного и многократного взаимодействия SiC с парами Сг02С12 и Н20 88
ГЛАВА 5 Кинетика и механизм термоокисления карбида кремния исходного и модифицированного титан-, ванадий- и хромоксидными поверхностными структурами 96
5.1 Термоокисление карбида кремния 96
5.1.1 Кинетика процесса термоокисления SiC 96
5.1.2 Влияние температуры окисления на состав поверхности карбида кремния 98
5.2 Термокисление образцов карбида кремния, модифицированных титаноксидными структурами 103
5.2.1 Кинетика и механизм превращений в тиансодержащих образцах карбида кремния при термоокислении 103
5.2.2 Состав поверхности титансодержащего карбида кремния после термоокисления 107
5.3 Влияние ванадийоксидных поверхностных структур на термоокислене карбида кремния 109
5.3.1 Особенности термоокисления карбида кремния модифицированного ванадийоксидными структурами 109
5.3.2 Исследование состава поверхности ванадийсодержащего карбида кремния после термоокисления методом РФЭС 114
5.4 Термокисление образцов карбида кремния, модифицированных хромоксидными структурами 116
5.4.1 Кинетические закономерности и механизм термоокисления хромсодержащего карбида кремния 116
5.4.2 Химический состав продуктов термоокисления хромсодержащего карбида кремния по данным РФЭС 120
5.4.3 Влияние температуры обработки модифицированного карбида кремния на содержание хрома в поверхностном слое 125
5.5 Влияние режимов термоокисления и химической природы модификатора в составе карбида кремния на изменение морфологии поверхности 128
Выводы 132
Список литературы
