Введение
ГЛАВА 1. Синтез и управление субструктурой пленок соединений при активации процессов высокоэнергетическими пучками 8
1.1. Общая характеристика видов импульсной обработки 9
1.1.1. Импульсная обработка заряженными частицами 9
1.1.2. Лазерная обработка материалов 13
1.1.3 .Импульсная обработка некогерентным светом 15
1.1.4.Классификация импульсных видов воздействия по термодинамическим режимам. 17
1.2. Взаимодействие концентрированных пучков излучения с материалами 19
1.2.1. Взаимодействие мощного фотонного излучения с полупроводниками 19
1.2.2. Взаимодействие мощного фотонного излучения с металлами 22
1.2.3. Облучение материалов электронным пучком 26
1.2.4. Облучение материалов ионными пучками 28
1.3. Эффект быстрого отжига в фазовых, структурных и субструктурных превращениях тонких пленок 28
1.3.1.Рекристаллизация имплантированных слоев 28
1.3.2. Синтез соединений 31
1.3.3. Механизмы атермических эффектов при импульсном отжиге 42
1.3.4. Заключение 51
ГЛАВА 2. Методика эксперимента 52
2.1. Нанесение исходных гетероструктур 52
2.1.1. Пленки системы Pb-Ti-0 52
2.1.2. Пленки системы C-W 54
2.2. Импульсная фотонная обработка некогерентным светом 55
2.3. Методика оценки величины энергии излучения, поступающего на образец 57
2.4. Термообработка 61
2.5. Методы исследования 62
ГЛАВА 3. Синтез пленок 64
3.1. Термообработка аморфных пленок состава, близкого к стехиометрическому (Pb-Ti-ЗО) 64
3.2. Импульсная фотонная обработка аморфных пленок состава Pb-Ti-ЗО 67
3.3. Заключения и выводы к главе 3 79
ГЛАВА 4. Синтез пленок карбида вольфрама 81
4.1. Зависимость фазового состава и субструктуры пленок гетеросистемы W-C от энергии излучения при ИФО 81
4.2. Зависимость фазового состава, субструктуры пленок гетеросистемы W-C от температуры отжига при быстрой термической обработке 88
4.3. Влияние ИФО на морфологию поверхности гетероструктуры C-W-C/W-фольга 91
4.4. Заключения и выводы к главе 4 95
Основные Выводы 99
Литература 101
