Введение
ГЛАВА 1. Методы синтеза оксидных пленок металлов 10
1.1. Методы получения оксидных пленок 11
1.2. Применение фотонной обработки в синтезе оксидных пленок 18
1.2.1. Лазерная термообработка 18
1.2.2. Особенности лазерной обработки металлов и полупроводников в окислительной атмосфере 19
1.2.3. Влияние длины волны лазерного излучения на процесс окисления металлов и полупроводников 25
1.2.4. Фотонная обработка некогерентным излучением 28
1.2.5. Импульсная фотонная обработка ксеноновыми лампами 34
1.3. Синтез пленок оксидов Ni и Sn 37
1.3.1. Синтез пленок оксидов Ni 37
1.3.2. Синтез пленок оксидов Sn 42
1.4. Выводы и постановка задачи 45
ГЛАВА 2. Методика эксперимента 47
2.1. Нанесение исходных пленок 48
2.1.1. Исходные пленки Ni 48
2.1.2. Исходные пленки Sn 50
2.2. Синтез пленок оксидов методом термического отжига 51
2.3. Синтез пленок оксидов методом импульсной фотонной обработки некогерентным излучением 51
2.4. Методики исследования фазового, элементного состава, структуры, толщины, морфологии поверхности, электрофизических и сенсорных свойств оксидных пленок 56
ГЛАВА 3. Синтез пленок nio методом термической и импульсной фотонной обработки 60
3.1. Исходные пленки Ni 60
3.2. Термический отжиг 61
3.3. ИФО на воздухе пленок Ni 65
3.3.1. Эпитаксиальные пленки Ni 65
3.3.2. ИФО поликристаллических пленок Ni 70
3.4. Ориентационные соотношения в системе Ni-NiO 74
3.5. Заключения и выводы к главе 3 82
ГЛАВА 4. Фазовый состав, структура, морфология и сенсорные свойства пленок оксидов олова, синте зированных методом импульсной фотонной обработки 84
4.1. Исходные пленки Sn 84
4.2. Импульсная фотонная обработка пленок Sn 85
4.3. Термическая обработка пленок Sn 88
4.4. Электрофизические и сенсорные свойства пленок Sn02, синтезированных методом ИФО
4.5. Заключения и выводы к главе 4 98
Основные результаты и выводы 99
Литература 100
