Введение
Глава 1. Обзор литературы 16
1.1. Уникальные свойства алмаза 16
1.2. Методы получения алмаза 19
1.3. Применение cvd алмаза 22
1.4. Разновидности cvd методов 23
1.5. Стимулирование зародышеобразования при cvd-методах синтеза алмаза 24
1.6. Использование алмазных мембран 27
1.7. Фотолюминесценция алмазных дефектов 31
1.8. Оптические резонаторы на алмазных мембранах 32
Глава 2. Использование полимерных прекурсоров 36
2.1. Оценка необходимой плотности нуклеации 36
2.2. Получение полимеров пнгк и пгк 39
2.3. Поли(нафталингидрокарбин) 47
2.4. Поли(гидрокарбин) 53
2.5. Сравнение полимеров 54
2.6. Дополнительный отжиг на воздухе 57
2.7. Введение полимера в нанопористые объекты 58
2.8. Легирование алмаза кремнием с использованием полимера пнгк-si 61
Выводы по главе 2. 63
Глава 3. Использование порошков дробленого алмаза . 65
3.1. Принцип получения алмазных мембран 65
3.2. Выбор порошка и засевной жидкости 66
3.3. Метод нанесения скотча 67
3.4 Синтез алмазных пленок. 70
3.5 Изучение спектров оптической эмиссии ch4/h2 плазмы 71
3.6. Нанесение алмазной маски 73
3.7. Нанесение рабочего алмазного слоя 76
3.8. Локальное вытравливание кремниевой подложки 78
3.9. Получение алмазной маски методами лазерной обработки. 81
Выводы к главе 3. 87
Глава 4. Изучение свойств алмазных мембран 89
4.1 структурные различия mcd и ncd мембран 89
4.2 изучение фазового состава 91
4.3. Измерения шероховатости 93
4.4. Оптические свойства 96
4.5. Использование mcd мембран в лазере на свободных электронах . 98
Выводы к главе 4. 100
Глава 5. Тонкие ncd мембраны для применения в квантовой оптике 101
5.1. Оптические резонаторы на основе алмазных мембран 101
5.2. Осуществление внешнего легирования алмаза кремнием 102
5.3. Легированные кремнием алмазных наночастиц 105
5.4. Методика засева для создания тонких микромембран 107
5.5. Формирование структур оптических резонаторов 111
Выводы к главе 5. 112
Заключение 114
Список литературы 117
