Синтез углеродистых пленок в неизотермической плазме на подложках различных типов
Ерузин Александр Анатольевич. Синтез углеродистых пленок в неизотермической плазме на подложках различных типов : Дис. ... канд. техн. наук : 05.17.01 : Санкт-Петербург, 2004 179 c. РГБ ОД, 61:04-5/2197