Введение
ГЛАВА 1. Аналитический обзор
1.1. Физические свойства объекта контроля и особенности его кристаллического строения
1.2. Методы исследования объекта контроля 15
1.2.1. Рентгеноструктурный анализ
1.2.2. Оптические методы контроля тонких пленок 21
1.2.3. Сканирующая зондовая микроскопия
1.2.4. Методы измерения микротвердости 1.3. Характеристика способа получения модельного объекта контроля
ГЛАВА 2. Технология получения объектов контроля и техника эксперимента
2.1. Технологическая установка магнетронного распыления для получения пленок нитрида алюминия (с расширенным диапазоном варьирования контролируемых параметров этих пленок)
2.2. Метрологический анализ экспериментальной установки
2.3. Методика получения модельных объектов контроля с расширенным диапазоном контролируемых параметров методом магнетронного распыления
ГЛАВА 3. Методики контроля параметров кристаллического строения тонких пленок нитрида алюминия
3.1. Методика аналитического контроля средних размеров кристаллитов в
плоскости параллельной подложке на основе регистрации микротвердости системы тонкая пленка нитрида алюминия/подложка
3.1. Методика контроля размеров, формы и ориентации кристаллитов на основе сканирующей зондовой микроскопии с применением метода контурного анализа плоского изображения скола пленки
3.3. Методика аналитического контроля степени кристалличности пленок нитрида алюминия по величине потерь тестовой линии задержки на поверхностных акустических волнах
3.4. Сравнение разработанных методик с методом рентгеновской дифракции
ГЛАВА 4. Система контроля параметров пленок нитрида алюминия как элемент управления технологическим процессом их получения
4.1. Математическая модель технологического процесса получения пленки нитрида алюминия, преобразующая технологические факторы в ее степень кристалличности
4.2. Методика контроля отклонения значения степени кристалличности пленки нитрида алюминия, заданного математическим моделированием, от значения, определяемого неконтролируемыми и неуправляемыми факторами технологического процесса формирования этих пленок 89 92
4.3. Система комплексного контроля параметров пленок нитрида алюминия
Заключение
Литература
