Введение
ГЛАВА 1 Состояние и анализ проблем микросистемной техники (МСТ) 12
1.1 МСТ - критическое направление в науке и технике XXI века 12
1.2 Микросборка и проблемы производства гибридных МЭМС 15
1.3 Анализ современного состояния микросборочных технологий 18
1.4 Виртуальные технологии для моделирования сложных технических систем 31
1.5 Проблемы взаимодействия реальных и виртуальных микросистем 35
1.6 Цель и задачи исследования 39
Выводы по главе 1 40
ГЛАВА 2 Разработка математических моделей функционирования микросистем с учетом особенностей влияния окружающей микросреды 42
2.1 Математические модели адгезионных сил как основных возмущающих воздействий при микросборке 42
2.3 Микроконтактная динамика при выполнении операций микроманипулирования 67
Выводы по главе 2 76
ГЛАВА 3 Синтез алгоритмов управления и планирования микромеханическими системами 77
3.1 Прогнозирующее управление микросборочными процессами 77
3.2 Разработка генетического алгоритма планирования оптимальных маршрутов для группы микророботов в среде с препятствиями 92
Выводы по главе 3 114
ГЛАВА 4 Разработка структуры, архитектуры и методик использования системы виртуальной реальности (СВР) 115
4.1 Структура имитационно-технологического комплекса с элементами виртуальной реальности 115
4.2 Режимы обработки информации и иерархическая программная архитектура СВР 127
4.3 Алгоритмы разработки виртуальных моделей микросистем 137
Выводы по главе 4 142
ГЛАВА 5 Разработка прикладного программного обеспечения и проведение вычислительных экспериментов 143
5.1 Программная реализация системы виртуальной реальности 143
5.2 Эксперименты по отработке и апробации алгоритмов планирования и управления 151
5.3 Разработка и моделирование новых микросборочных устройств 157
5.4 Натурные эксперименты и перспективы дальнейшего развития СВР 173 Выводы по главе 5 178
Заключение 179
Литература 182
