Введение
Глава I Состояние вопроса 8
1.1. Современные тенденции «конструирования» вакуумных ионно-плазменных покрытий 10
1.1.1. Комплексные методы нанесения покрытий 10
1.1.2. Многокомпонентные покрытия 13
1.1.3. Многослойные покрытия 18
1.2. Оборудование для вакуумной ионно-плазменной обработки поверхности 26
1.3. Методы контроля качества покрытий 35
1.4. Параметры технологического процесса вакуумной ионно-плазменной обработки 38
1.5. Эксплуатационные свойства вакуумных ионно-плазменных покрытий различного назначения 42
1.6. Влияние технологических параметров формирования покрытий на их служебные свойства 48
1.7. Заключение по литературному обзору и постановка задач исследования 56
Глава II Объекты и методы исследования 59
2.1. Объекты исследования 59
2.2. Методы исследования 60
2.2.1. Метод измерения контактной разности потенциалов . 60
2.2.2. Методы рентгеноструктурного анализа 64
2.2.3. Методика измерения остаточных напряжений 66
2.2.4 Методика измерения микротвердости тонких покрытий 66
2.2.5. Рентгеновский метод определения толщины покрытия 69
2.2.6. Химический анализ по глубине состава покрытия и подложки 72
2.2.7. Спектрометрия ядерного обратного рассеяния (ЯОР)... 72
Глава III Исследование эффективности процессов очистки и активации поверхности деталей из сталей, титановых и жаропрочных никелевых сплавов 75
3.1. Выбор метода оценки состояния поверхностного слоя на этапах очистки и активации при вакуумной ионно-плазменной обработке 75
3.2. Исследование изменения состояния поверхности на технологическом этапе предварительной очистки 79
3.3. Исследование изменения структуры и свойств поверхности при очистке в тлеющем разряде и ионной бомбардировке активной металлической плазмой 85
3.4. Оптимизация процесса удаления оксидов при активирующем нагреве поверхности 94
Глава IV Исследование влияния параметров технологического нагрева и конденсации газовой и металлической плазмой на процессы модифицирования поверхности и формирование покрытий 102
4.1. Модифицирование поверхности образцов из сталей и титановых сплавов активной газовой плазмой 102
4.2. Модифицирование поверхности образцов из жаропрочных никелевых сплавов активной металлической плазмой 115
4.3. Исследование процессов формирования поверхностных структур при конденсации покрытий активной металлической плазмой 121
Глава V Практическая реализация технологий вакуумной ионно- плазменной обработки деталей авиационной техники 131
5.1. Комплексная система обеспечения качества вакуумной ионно-плазменной обработки 131
5.2. Обеспечение износостойкости деталей типа «втулка» из титанового сплава ВТ6 135
5.3. Оптимизация режимов нанесения многослойных покрытий
на поверхность деталей из сталей 145
5.4. Комбинированная вакуумная ионно-плазменная обработка поверхности деталей из стали 12Х18Н10Т 160
Выводы по работе 173
Список литературы
