Совершенство структуры и свойства пленок оксида цинка, получаемых ионным распылением
Исмаилов Абубакар Магомедович. Совершенство структуры и свойства пленок оксида цинка, получаемых ионным распылением : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.04.- Махачкала, 2000.- 134 с.: ил. РГБ ОД, 61 01-1/648-6