Введение
Глава 1 Перспективы применения ионно-лучевых методов для повышения коррозионной и химической стойкости металлов 11
1.1 Литературные данные о коррозионной и химической стойкости имплантированных материалов 11
1.2 Вклад эффектов химического легирования 14
1.3 Роль структурно-химических превращений 16
1.4 Влияние изменений свойств поверхности 20
1.5 Управление структурно-химическими свойствами материалов ионно-лучевой обработкой 22
Выводы 34
Глава 2 Экспериментальные исследования физико-химических характеристик ионно-имплантированной меди, хрома, алюминия, титана 35
2.1 Аппаратура и методика эксперимента 36
2.2 Физико-химические характеристики ионно-имплантированных тонких металлических слоев 40
2.3 Физико-технологические особенности ионно-лучевой обработки «толстых» слоев меди 55
2.4 Технологические характеристики ионно-имплантированных слоев меди 57
Выводы 70
Глава 3 Механизмы влияния ионной имплантации на химическую активность металлических слоев 72
3.1 Роль процессов поверхностной полимеризации 72
3.2 Модель объемных наноструктурных химических пассивирующих превращений в имплантированных металлах 75
3.3 Сопоставление моделей с экспериментальными результатами 85
3.4 Анализ имеющихся технологических ограничений пассивирующей ионно-лучевой обработки 91
Выводы 93
Глава 4 Технологическая апробация процессов ионно-лучевой модификации материалов микроэлектроники 93
4.1 Ионно-лучевая технология пассивных твердотельных элементов 94
4.1.1 Лучевая технология изготовления металлических резисторов ИС 95
4.1.2 Формирование межслойных конденсаторов ионно-лучевой обработкой 98
4.1.3 Применение ионной имплантации аргона при изготовлении датчиков Холла 102
4.1.4 Способ ионно-лучевой защиты поверхности микроэлектронных изделий от внешних химических воздействий, коррозии, локализации гальванического осадка 106
4.2 Наноструктурная ионно-лучевая модификация титана для изделий медицинского назначения 110
4.2.1 Исходная постановка задачи и граничные условия 110
4.2.2 Применение ионной имплантации аргона при создании ультрадисперсной наномодифицированной структуры поверхности титановых имплантатов 112
Выводы 117
Заключение 119
Список использованной литературы 121
