Введение
Глава 1. Обзор основных направлений развития фотопреобразователей на основе кремния 10
1.1. Основные направления развития производства кремниевых фотопреобразователей 10
1.2. Анализ параметров матричных и планарных кремниевых фотопреобразователей 17
1.3. Анализ областей применения фотопреобразователей на основе кремния 26
Постановка задач диссертации 31
Глава 2. Исследование технологии изготовления фотопреобразователей на основе кремния 33
2.1. Исследование процессов изготовления матричного фотопреобразователя на основе кремния 33
2.2. Исследование технологических процессов создания планарных фотопреобразователей большой площади 43
Выводы по главе 2 46
Глава 3. Исследование электрических характеристик фотопреобразователей на основе кремниевых п-р-р+ структур 48
3.1. Анализ методов расчета электрических параметров матричных многопереходных фотопреобразователей 48
3.2. Исследование выходных параметров больших планарных фотопреобразователей 57
Выводы по главе 3 61
Глава 4. Конструкции на основе кремниевых фотопреобразователей 63
4.1. Бесконтактные фотодиодные матрицы для управления электронными устройствами 63
4.2. Солнечные модули на основе планарных фотопреобразователей с полутороидальными концентраторами 67
4.3. Технико-экономический расчет 82
Выводы по главе 4 88
Заключение 90
Список литературы 92
Приложение 1. Математические модели микроэлементов МФП 99
