Введение
Глава 1 Анализ современного состояния методов и средств измерения твердости металлических покрытий в нано- и микрометровом диапазоне
1.1 Классификация защитных и функциональных покрытий в нано- и микрометровом диапазоне и анализ задач измерения их механических свойств
1.2 Обобщенная структура задач измерения механических свойств 15
1.3 Анализ современного состояния основных приборов контроля твердости в микро- и нанометровом диапазоне
1.4 Постановка задач исследований 36
Глава 2 Теоретическое обоснование обеспечения заданной точности измерений физико-механических свойств металлических изделий и покрытий методом инструментального индентирования
2.1 Теоретическое обоснование метода инструментального индентирования 38
2.2 Анализ контролируемых параметров и источников неопределенности результатов измерений
2.2.1 Аппаратные источники неопределенности результатов измерений 44
2.2.2 Методические составляющие неопределенности результатов измерений 47
2.2.3 Влияние физико-механических свойств исследуемых объектов и мешающих параметров
Глава 3 Методические принципы построения алгоритмов обработки измерения и расчета твердости покрытий, тонких пленок и модифицированных слоев, обеспечивающие уменьшение неопределенности результатов измерений при инструментальном индентировании
3.1 Основные методы оценки геометрии индентора 55
3.2 Алгоритм косвенной оценки функции формы индентора
3.3 Экспериментальная реализация алгоритма косвенной оценки функции формы индентора
Глава 4 Метрологическое обеспечение измерения твердости покрытий, тонких пленок и модифицированных слоев методом инструментального индентирования
4.1 Система метрологического обеспечения метода инструментального индентирования
4.2 Переход от стандартных мер твердости к стандартным образцам свойств материалов
4.3 Алгоритм поэлементной поверки(калибровки) твердомера, реализующего метод инструментального индентирования
4.4 Расчет расширенной неопределенности результатов измерений 91
Глава 5 Экспериментальные исследования алгоритма косвенной 96 оценки функции формы индентора с применением стандартных образцов свойств при контроле твердости тонких покрытий, пленок и модифицированных слоев .
5.1 Оборудование и условие проведения экспериментов 96
5.2 Применение алгоритма косвенной оценки функции формы индентора на 102 стандартных образцах свойств. Верификация.
Заключение 121
Список литературы
