Совершенствование вибрационного метода контроля толщины покрытий в процессе их осаждения в вакууме путем создания автоматизированной системы на базе камертонного датчика
Паутов Илья Юрьевич. Совершенствование вибрационного метода контроля толщины покрытий в процессе их осаждения в вакууме путем создания автоматизированной системы на базе камертонного датчика : Дис. ... канд. техн. наук : 05.13.06 : Рыбинск, 2004 150 c. РГБ ОД, 61:05-5/442