Введение
ГЛАВА 1 Литературный обзор 10
1.1 Прозрачные проводящие оксидные покрытия 10
1.2 Свойства ТСО-материалов 14
1.2.1 Электрическая проводимость 14
1.2.2 Оптические свойства ТСО покрытий 17
1.3 Применение ТСО - покрытий 19
1.4 Методы получения ITO покрытий 21
1.4.1 Методы вакуумного распыления мишеней 22
1.4.2 Метод ионного осаждения 24
1.4.3 Синтез из металлоорганического соединения 25
ГЛАВА 2 Защитные прозрачные оксидные покрытия 28
2.1. Свойства покрытия диоксида циркония 31
2.2 Методы получения покрытия диоксида циркония 33
ГЛАВА 3 Получение ITO покрытий экстракционно-пиролитическим методом 37
3.1 Экстракционно-пиролитический метод 37
3.2 Выбор и подготовка подложек 44
3.3 Методики нанесения покрытий экстрактов на подложки 47
3.4 Определение толщины покрытия 52
3.1.1 Термическое разложение экстрактов 56
ГЛАВА 4 Формирование прозрачных проводящих покрытия 65
4.1 Исследование влияния состава покрытий In-Sn-O, In-Zn-O и Sn-Cd-O на поверхностное сопротивление 66
4.2 Исследование влияния термоообработки ITO покрытия на поверхностное сопротивление 69
4.3 Оптимизация процессов формирования проводящих покрытий InSnO в процессе отжига 74
4.4 Исследование нагрева ITO покрытия на стекле 82
ГЛАВА 5 Исследование ITO покрытия 84
5.1 Физико-химические методы исследования 84
5.2 Исследования структуры и состава ITO покрытий 85
5.3 Исследование микроструктуры ITO покрытий 92
5.3 Оптические параметры ITO покрытий 97
ГЛАВА 6 Исследование покрытия диоксида циркония 102
6.1 Структура и микроструктура покрытий ZrO2(Y2O3) 102
6.2 Защитные свойства покрытия ZrO2(Y2O3) 106
6.3 Исследование теплопроводности покрытия на основе диоксида циркония 111
Выводы 120
Список литературы 122
