Создание экологичных и виброустойчивых механических модулей высокопроизводительного оборудования для выращивания монокристаллического кремния
Терехин Николай Александрович. Создание экологичных и виброустойчивых механических модулей высокопроизводительного оборудования для выращивания монокристаллического кремния : Дис. ... канд. техн. наук : 05.02.13, 05.02.02 : Красноярск, 2004 229 c. РГБ ОД, 61:05-5/1033
