Введение
Глава 1. Принципы LIGA-технологии 12
1.1. Основные технологические этапы LIGA 12
1.2 Основные свойства синхротронного излучения, применительно к глубокой рентгенолитографии 17
1.3. Принципы построения LIGA станции 24
1.4. Классические принципы изготовления рентгеношаблонов 32
1.5. Материалы, применяемые в LIGA процессе 35
Глава 2. Описание LIGA-технологического комплекса на источнике синхротронного излучения ВЭПП-3 ; 52
2.1. Компоновка станции глубокой рентгенолитографии " LIGA " на накопителе ВЭПП-3 53
2.2. Физико-математическое моделирование станции "LIGA" на накопителе ВЭПП-3 2.2.1. Характеристики СИ на станции "LIGA"...; 60
2.2.2. Режимы экспонирования. 65
2.3. Оборудование для обработки образцов .71
Глава 3. Создание и исследование рентгеношаблонов для глубокой рентгенолитографии . 72
3.1. Изготовление рентгеношаблонов 72
3.2. Тестирование рентгеношаблонов 91
Глава 4. Изготовление микроструктур методом глубокой рентгенолитографии
4.1. Микроструктурированные LIGA-изделия для прикладных исследований 96
4.2. Микрофлюидные системы 97
4.3. Изготовление методами LIGA микрофлюидных систем 102
4.4. Элементы квазиоптики для излучения ТГц-диапазона 112
4.5. Изготовление элементов квазиоптики для терагерцового излучения методом LIGA 117
4.6. Элементы микрооптики для видимого диапазона 125
4.7. Изготовление микропрофилированных оптических элементов методом LIGA 125
Заключение 132
Литература
