Введение
Глава 1. Литературный обзор 13
1.1. Методы фабрикации массивов нано- и микроотверстий 13
1.2. Лазерная фабрикации нано- и микроотверстий: достоинства и недостатки
1.2.1. Метод лазерной абляции 23
1.2.2. Механизмы формирования нано- и микроотверстий на металлических тонких пленках под действием лазерного излучения
1.2.3. Формирование микроотверстий лазерным импульсным излучением: достоинства и недостатки 30
1.3. Спектральные свойства решеток нано- и микроотверстий 33
1.3.1. Поверхностные плазмоны 33
1.3.2. Оптические свойства круглого отверстия в бесконечно тонком идеально проводящем экране (теория бете-боукампа) 37
1.3.3. Круглое отверстие в экране конечной толщины 40
1.3.4. Экстраординарное прохождение света через решетки из наноотверстий 47
1.3.5. Усиление наноструктурированной металлической поверхностью инфракрасного поглощения и комбинационного рассеяния света массивов нано-и микроотверстий 54
1.4. Применение наноотверстий 56
Глава 2. Экспериментальная часть. 63
2.1. Лазерная система 63
2.2. Материалы 65
2.3. Методы исследования 66
Глава 3. Фемтосекундная лазерная фабрикация массивов микроотверстий 67
3.1. Типы нано- и микроструктур, возникающих при фемтосекундном лазерном воздействии на тонкие металлические пленки 67
3.2. Фабрикация массивов микроотверстий на серебряных пленках 74
3.3. Фабрикация массивов микроотверстий на пленке сплава золота с палладием 76
3.4. Фабрикация массивов микроотверстий на алюминиевой пленке 77
3.5. Фабрикация массивов микроотверстий на медной пленке 78
3.6. Выводы 79
Глава 4. Спектральные свойства массивов микроотверстий 80
4.1. Экстраординарное пропускание массивов нано- и Микроотверстий 82
4.1.1. Экстраординарное пропускание массивов микроотверстий в зависимости от толщины пленки 83
4.1.2. Экстраординарное пропускание массивов микроотверстий в зависимости от диаметра отверстия 85
4.1.3. Пропускание массивов микроотверстий в зависимости от периода микроотверстий и типа пленки 86
4.2. Сенсорные характеристики резонансов 88
4.2.1. Усиленное инфракрасное поглощение света красителем на дифракционной решетке сплава золота с палладием 89
4.2.2. Усиление наноструктурированной металлической поверхностью инфракрасного поглощения красителем на серебряной дифракционной решетке 92
4.2.3. Дифракционная микрорешетка как новая оптическая биосенсорная платформа 97
4.3. Выводы 102
Заключение 103
Терминология и используемые сокращения 105
Благодарности 107
Список литературы 108
