Спектроскопия отраженных электронов и микротомография слоистых структур в растровой электронной микроскопии
Савин Владислав Олегович. Спектроскопия отраженных электронов и микротомография слоистых структур в растровой электронной микроскопии : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.01.- Москва, 2002.- 126 с.: ил. РГБ ОД, 61 03-1/498-5