Введение
Глава 1 Современные представления об упругом взаимодействии электронов с твердым телом 11
1.1. Вторично-эмиссионные методы исследования поверхности твердого тела 11
1.2. Экспериментальные результаты по исследованию интегрального коэффициента упругого отражения электронов 16
1.3. Экспериментальные результаты по исследованию углового распределения упруго отраженных электронов 18
1.4. Упругое рассеяние электронов на атомах 26
1.5. Неупругие потери энергии электронов в твердом теле , 37
1.6. Модель однократного упругого рассеяния электронов 41
1.7. Модель кратного упругого рассеяния и уравнение переноса для расчета характеристик упругого отражения электронов 47
1.8. Применение метода Монте-Карло для расчета характеристик упругого отражения электронов 53
1.9. Аналитическое применение спектроскопии упругого отражения электронов для анализа свойств поверхности твердого тела 59
1.10. Выводы из первой главы 61
Глава 2 Методика экспериментальных исследований 62
2.1. Экспериментальная методика комплексного исследования упругого и неупругого взаимодействия электронов с твёрдым телом 63
Экспериментальный прибор для комплексного исследования дифференциальных и интегральных характеристик взаимодействия электронов с твёрдым телом 63
Блок-схема экспериментальной установки 74
Исследуемые образцы и вакуумные условия 77
Угловое разрешение энергоанализатора и искажающее влияние коллиматора 80
Погрешности измерений интегральных вторично-эмиссионных характеристик 83
Компенсация электрических и магнитных полей 91
Развитие методов диагностики поверхности твердого тела на основе изучения характеристик упругого отражения электронов 94
Измерение дифференциальных коэффициентов упругого отражения электронов от поверхностей твердого тела 94
Расчет характеристик упругого отражения, электронов по методу Монте-Карло 98
Влияние взаимодействия атомов в твердом теле на рассчитываемые угловые распределения упруго отраженных электронов 117
О возможности модификации модели однократного упругого рассеяния электронов 122
Определение роли однократного упругого рассеяния в упругом отражении электронов средних энергий от поверхностей твердых тел 124
3.6. Применение спектроскопии упругого отражения электронов для определения концентрации компонентов многокомпонентных твердых тел и длин свободного пробега электронов 132
Заключение 144
Библиография 146
