Введение
Глава 1 Масс-спектрометрическое определение изотопного состава технологической продукции 9
1.1 Масс-спектрометрический метод анализа 9
1.2 Система пространственно распределенных ионных потоков 13
1.3 Источник ионов IS
1.3.1 Способы образования ионов 16
1.3.2 Ионная и электронная оптика источников ионов 18
1.3.3 Влияние способа ионизации на формирование ионных пучков 20
1.3.4 Конструкции источников ионов 22
1.3.5 Ввод пробе источник 26
1.3.6 Характеристики источников и режимы работы 31
1.4 Регистрация ионных токов и спектров масс 33
1.4.1 Электрометрический метод 34
1.4.2 Метод вторичной электронной эмиссии 36
1.4.3 Сцинтилляционный метод 39
1.4.4 Позиционно-чувствительный детектор на основе микроканальных пластин 42
1.4.5 Гибридный электронный умножитель 44
1.4.6 Системы регистрации ионных токов 47
1.6 Вакуум ная система масс-спектрометра 49
1.6.1 Требования к вакууму в анализаторах 49
1.6.2 Назначение элементов вакуумных систем 50
1.6.3 Применение различных средств откачки в масс-спектрометрических приборах 51
1.6.3.1 Пароструйные насосы 52
1.6.3.2 Ионно-геттерные насосы 54
1.6.3.3 Криосорбционные насосы 55
1.6.3.4 Турбомолекулярные насосы 56
1.7 Анализ основных систем масс-спектрометра МИ 120IT 58
Глава 2 Разработка шлюзового источника ионов 63
2.1 Требования, предъявляемые к источникам ионов 65
2.2 Оптимизации ионно-оптических схем масс-анализатора 67
2.3 Разработка ионно-оптической системы и источника ионов 71
Глава 3 Модернизация канала регистрации ионов масс-спектрометра МИ 120IT 77
3.1 Требования, предъявляемые к системам регистрации ионных токов 77
3.2 Техническое оформление канала регистрации 78
3.2.1 Электрометрический усилитель 79
3.2.2 Аналого-цифровой преобразователь и фильтр нижних частот 84
33 Обработка измеренных масс-спектров 87
3.3.1 Алгоритмы обработки масс-спектров 87
3.3.2 Сглаживание измеренных масс-спектров 93
3.3.3 Обнаружение спектральных линий в изотопном масс-спектре 95
3.3.4 Компенсация влияния фона рассеянных ионов 102
3.3.5 Восстановление ошибочно отбракованных оценок амплитуд пиков 103
3.4 Многоканальная система регистрации 106
3.4.1 Гибридный многоканальный приемник ионов 106
3.4.2 Описание конструкции приемника ионов 113
3.4.3 Структурная схема системы регистрации I 14
3.4.4 Экспериментальная проверка многоканальной системы регистрации 116
Глава 4 Модернизация системы откачки масс-спектрометра 119
4.1 Вакуумная система масс-спектрометра МИ 1201 121
4.2 Модернизация системы терморегулирования... 125
4.3 Сравнительный анализ насосов и выбор насоса 128
Заключение 137
Выводы 140
Приложение
