Введение
Глава 1. Обзор и анализ методов и средств межоперационного и активного контроля деталей приборостроения 10
1.1. Обзор и анализ методов и средств межоперационного контроля деталей приборостроения 10
1.2. Обзор и анализ методов и средств активного контроля деталей приборостроения 15
1.3. Обзор и анализ устройств активного виброакустического контроля 21
1.4. Анализ основных узлов устройств активного виброакустического контроля 32
1.5. Выводы по главе 1 33
Глава 2. Результаты экспериментальных исследований виброакустического сигнала 35
2.1 Анализ результатов экспериментальных исследований виброакустического сигнала на основе трехмерных АЧХ 35
2.2 Выбор оптимального диапазона измерений износа инструмента 42
2.3 Анализ результатов экспериментальных исследований виброакустического сигнала для различных режимов работы станка в оптимальном диапазоне измерений 44
2.4 Исследование зависимости амплитуды вибраций системы СПИД от износа инструмента 51
2.5 Выводы по главе II 52
Глава 3. Анализ погрешностей средств измерения размеров деталей приборостроения 57
3.1 Общий анализ погрешностей устройств многотактного интегрирования 57
3.2 Анализ частных составляющих погрешностей основных узлов устройств контроля размеров на основе метода многотактного интегрирования 62
3.2.1. Анализ аддитивных погрешностей ОУ 62
3.2.2 Анализ мультипликативной погрешности измерения ОУ 64
3.2.3 Анализ нелинейной составляющей погрешности устройств многотактного интегрирования 68
3.2.4. Анализ частных составляющих погрешностей источников опорного напряжения 71
3.2.5 Анализ частных составляющих погрешностей источников опорного тока 80
3.3 Выводы по главе III 84
Глава 4. Разработка методов многотактного интегрирования и соответствующих средств измерения 86
4.1 Сравнительный анализ методов многотактного интегрирования 86
4.3 Разработка метода двухтактного весового интегрирования параллельного интегрирования с синхронизацией начала первых двух частных тактов и реализующих его устройств 95
4.4. Возможность использования смешанного метода трехтактного весового интегрирования для подавления напряжения трех некоррелированных помех 103
4.5. Использование контроля износа инструмента на станках с ЧПУ методом касания 106
4.5 Выводы по главе 4 113
Заключение 115
Список литературы 117
Приложение 1 128
Приложение 2 136
