Введение
Глава 1 Методы и средства измерения параметров нелинейных эквивалентных схем полупроводниковых приборов 11
1.1 Эквивалентные схемы гетеропереходных светодиодов 11
1.2 Методы измерения параметров нелинейных элементов электрических цепей 16
1.3 Методы идентификации и измерения параметров многоэлементных двухполюсников 20
1.4 Недостатки методов измерения малосигнальных параметров гетеропереходных светодиодов и требования к измерительной аппаратуре 24
1.5 Средства измерения малосигнальных параметров светодиодов методами импедансной спектроскопии 27
1.6 Средства измерения параметров гетеропереходных светодиодов методом емкостной спектроскопии 35
1.7 Средства диагностики полупроводниковых приборов по шумовым параметрам 38
Выводы 40
Глава 2 Повышение точности измерения параметров нелинейной эквивалентной схемы гетеропереходных светодиодов методами импедансной спектроскопии 41
2.1 Погрешность измерения дифференциального сопротивления нелинейного двухполюсника 41
2.2 Алгоритм определения набора оптимальных частот тестового сигнала при измерении параметров многоэлементных двухполюсников 54
2.3 Способ измерения сопротивления базы полупроводникового диода 68
2.4 Способ измерения дифференциального сопротивления нелинейных двухполюсников с температурозависимой вольт-амперной характеристикой 73 Выводы 77
Глава 3 Диагностика гетеропереходных светодиодов методами емкостной спектроскопии 79
3.1 Погрешность измерения емкости нелинейного двухполюсника, обусловленная нелинейностью 79
3.2 Установка для измерения вольт-фарадных характеристик гетеропереходных светодиодов 88
Выводы 98
Глава 4 Измерение малосигнальных параметров гетеропереходных светодиодов методами шумовой спектроскопии 99
4.1 Шумовая эквивалентная схема светодиода 99
4.2 Аппаратно-программный комплекс для измерения вероятностных характеристик флуктуаций тока накачки светодиодов 101
4.2.1 Обоснование структурной схемы комплекса 101
4.2.2 Электрическая схема аппаратно-программного комплекса 108
4.2.3 Измерение спектральной плотности шума методом удвоения 110
4.2.4 Измерение вероятностных характеристик низкочастотного шума методом дискретных выборок 112
4.2.5 Оценка погрешности определения автокорреляционной функции электрических шумов гетеропереходных светодиодов 116
4.3 Измерение импеданса двухполюсника с применением шумового тестового сигнала 118
4.3.1 Способ измерения параметров элементов многоэлементных нерезонансных двухполюсников 118
4.3.2 Установка для измерения импеданса двухполюсника с применением шумового тестового сигнала 121
Выводы 127
Глава 5 Диагностика качества гетеропереходных светодиодов по шумовым и малосигнальным параметрам 128
5.1 Связь характеристик низкочастотного шума светодиодов с распределением примесей и плотности тока в гетероструктурах 128
5.2 Определение параметров рекомбинационных центров в InGaN/GaN светодиодах методом низкочастотной шумовой спектроскопии 133
5.3 Оценка качества СИД по малосигнальным и шумовым параметрам 134
5.4 Исследование процессов деградации светодиодов при испытаниях 137
5.4.1 Связь снижения квантовой эффективности светодиодов при испытаниях с особенностями вольт-фарадных характеристик . 137
5.4.2 Исследование процессов деградации красных гетеропереходных светодиодов TLCR5800 Vishay при испытаниях 139
Выводы 147
Заключение 149
Список литературы
